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[화학공학] SiO2 박막식각 및 PR제거 예비보고서
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박막식각 예비보고서.hwp
- 등록인 jhohyoung
- 등록/수정일 09.09.03 / 09.09.03
- 문서분량 13 페이지
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- 보고서설명
- 공업화학실험 - SiO2 박막식각 및 PR제거 예비보고서 [이용대상]
- 본문일부/목차
- 1.실험제목 2.실험목적 3.내용 4.절차
5.실험이론
- 플라즈마의 종류 특성 이용
- Lithography의 정의 및 공정
- 반도체 제조공정과 정의
- 식각의 종류와 정의
- OLED의 정의, 구동원리, 구조, 과제와 전망, 응용분야
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