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[진공펌프] 화학 실험 리포트 / 진 공 펌 프 1. 진공도에 따른 진공 영역의
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[진공펌프] 화학실험 리포트.hwp
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등록인 lspeirs
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등록/수정일 09.05.18 / 09.05.18
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- 진 공 펌 프 1. 진공도에 따른 진공 영역의 구분 및 사용영역 진공영역...
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- 진 공 펌 프
. 진공도에 따른 진공 영역의 구분 및 사용영역
진공영역은 진공도에 따라 아래의 표와 같이 몇 가지로 구분되어 불리어지고 있다. 진공영역을 이 같이 구분하는 이유는 각 진공 영역에 따라 적용되는 공정이 달라지고, 펌프의 기종 또한 다르게 되기 때문이다. 진공 영역별로 구분되는 공정 및 펌프의 기종은 아래의 표와 같다
진공 영역진공도 범위적용되는 공정진공펌프의 기종저진공 Rough Vacuum대기압-1Torr진공 흡착이송 ,인쇄기자동급지 ,진공 농축반응기, 분말충진 , 진공성형, 진공포장건식 로타리 베인 펌프, 급유식 로타리 베인 펌프, 수봉식 펌프, 스팀 이젝타, 냉매 가스주입용중진공
Fine Vacuum1Torr-10-3 Torr진공건조, 탈기장치, 진공함침 진공증류 ,진공소결다단식 로타리 베인 펌프, 다단식 스팀 이젝타 ,루츠펌프 피스톤 펌프, 확산 펌프고진공
High Vacuum10-3Torr-10-7 Torr진공코팅, 진공 동결 건조, 진공 합금 ,신소재합금확산펌프, 터보 분자 펌프, 흡착펌프, 저온 냉각 펌프, 승화펌프초고진공 Ultrahigh Vacuum 10-7Torr 이하원자핵 연구장치 ,전자 현미경 Plasma발생기, 물리 실험 장치터보 분자 펌프, 저온 냉각펌프, 흡착 펌프
. 진공펌프의 종류
각기 다른 진공 영역에 따라 진공을 발생시키는 진공펌프의 종류가 다르게 된다는 것은 위에서 나타난 바와 같다. 진공펌프의 종류를 좀더 상세히 도식적으로 구분해 보면 다음과 같다.
- 건식 로타리 베인 펌프 (DRY-RUNNING ROTARY VANE PUMP)
- 만유식 로타리 베인 펌프 (OIL FLOODED ROTARY VANE PUMP)
- 순환 급유식 로타리베인 펌프 (OIL CIRCULATED INJECRED ROTARY VANE PUMP)
- 배출 급유식 로타리 베인 펌프 (ONCE -THROUGH OIL INJECTED ROTARY VANE PUMP)
- 로타리 피스톤 펌프 (...
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#진공펌프 화학 실험 리포트 / 진 공 펌 프 1. 진공도에 따른 진공 영역의
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