재료분석 SEM-EDX EDS
SEM-EDX
Scanning Electron Microscope로 불리는 이 전자현미경은 E-beam이 sample과의 상호작용에 의해 발생된 S.E를 이용해서 표면을 관찰하는 장비이다. 거의 빛의 속도로 이동하는 전자의 파동성을 이용한 전자가속기로서 전자빔을 전자기렌즈를 이용하여 초점을 형성한다. 주사전자현미경은 secondary electron, back-scattered electron, X-rays, visible light, infrared energy 또는 currents from semiconductors 등의 서로 다른 전자선에 의해 유도된 signal로부터 얻은 다양한 전보를 가질 수 있기 때문에 모든 물체의 표면관찰과 화학물질의 조성과 전기적 성질 및 물질의 상호관계까지도 규명할 수 있다. 또한 주사전자현미경은 광학현미경, 형광현미경과 비교할 수 있는 상을 맺을 수 있는데 초점심도가 매우 크기 때문에 주로 입체적인 상을 얻을 수 있고 시료의 제작도 매우 간편하며, 경우에 따라서는 화학적인 처리 없이 간편한 물리적인 조작으로 생체시료를 있는 그대로 관찰할 수 있다.이와 같이 전자 및 전자기파(electromagnetic wave)를 신호로 하여 브라운관(Cathode Ray Tube, CRT 음극선관) 위에 밝기의 변화로서 상을 나타내도록 만든 장치를 주사전자현미경(SEM)이라 한다. 따라서, CRT에 나타난 화상은 시료의 각 점으로부터 방출되는 전자 또는 전자기파의 양의 다소를 나타낸 것이다. 주사전자현미경에서는 보통 2차 전자를 주된 정보로서 사용하는데 이 2차 전자의 발생량은 시료표면의 요철에 의한 것이므로, 이 장치로서 시료 표면의 형태를 알 수 있다.
시료 위에서 전자선의 진폭(Amplitude)과 CRT의 한 변의 비가 배율이 되기 때문에 전자선의 진폭을 적게 하면 배율이 올라가고, 크게 하면 배율이 내려간다. 초점을 맞추려면 대물렌즈의 강도를 바꾸어 원추상(cone shaped)의 전자선의 전...
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