해피레포트 - [반도체] 반송자 수명측정법 텀프로 젝트

카테고리 : 레포트 > 공학,기술계열 파일이름 :반송자 수명측정법.hwp 문서분량 : 17 page 등록인 : ladyyes 문서뷰어 : 한글뷰어프로그램 등록/수정일 : 08.10.09 / 08.10.09 구매평가 : 다운로드수 : 0 판매가격 : 2,000 원

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■ 도 입 양전자(Positron)와 물질과의 상호작용이 이해되면서, 양전자 분광기는 고체의 결함과 전자의 전기적 구조를 연구하는데 독특한 분광기로서 사용되어지기 시작했다. 반도체나 도체에 조사된 양전자들은 전자와의 쌍소멸을 통해 생성되는 감마선에 전자들의 밀도와 운동량 정보를 전달한다. 측정된 전자들의 밀도와 운동량의 분포는 고체 결함의 종류와 농도 그리고 전자들의 전기적 구조를 규명하고, 또한 결함의 전하 상태와 화학적 성분을 구별할 수 있다. 양전자의 조사 에너지를 변화시킴으로 비파괴적으로 깊이에 따른 원자 크기의 결함 분포를 분석할 수 있다. 간단한 실험 장치와 비교적 용이한 분석 등 많은 장점을 갖지만 양전자의 수가 적어서 장시간 측정해야 되는 단점도 있다. 양전자는 1928년에 디락에 의해 예측이 되었고, 1932년에 앤더슨이 양전자를 처음으로 발견하게 되었다. 그 후 40, 50년대에 양전자가 고체내의 전자와의 쌍소멸을 통해 유용한 정보를 줄 수 있다는 것을 보였고, 다량의 양전자와 저 에너지를 갖는 양전자를 생성함으로 본격적인 양전자를 이용하여, 도체나 반도체의 표면 근처에 있는 결함의 농도와 종류를 간단한 방법으로 예측 가능하게 해 준다

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