해피레포트 - [기계공학] 플라즈마에 대한 특성 및 적용분야

카테고리 : 레포트 > 공학,기술계열 파일이름 :플라즈마란.hwp 문서분량 : 17 page 등록인 : q78965 문서뷰어 : 한글뷰어프로그램 등록/수정일 : 08.04.26 / 17.05.29 구매평가 : 다운로드수 : 8 판매가격 : 1,000 원

미리보기

본문일부/목차
플라즈마란? 플라즈마라는 말을 물리학 용어로 처음 사용한 사람은 미국의 물리학자 `Langmuir`(랑뮈어)로서, 전기적인 방전으로 인해 생기는 전하를 띤 양이온과 전자들의 집단을 플라즈마라고 하고 그 물리적인 성질을 연구하는 것이 플라즈마 물리학이다.플라즈마란 소위 `제 4의 물질상태`라고 알려져 있으며, 우주의 99%가 플라즈마 상태로 이루어............... ............ ..... 저온 플라즈마의 적용분야 -> Dry etching : 플라즈마에 의해 활성화 된 라디칼, 전자 등을 이용하여 etching. -> CVD : Plasma를 이용하여 기상합성으로 기능성 막을 생성시키는 방법(주로 반도체 분야의 thin film 형성에 적용). -> Plasma 중합 : 플라즈마에 모노머를 주입시켜 polimerization을 통하여 기판에 고분자막을 생성시킴. -> 표면개질 : Plasma에 의해 활성화 된 이온이나 전자들에 의해 고체 표면을 화학적으로 개질하는 것. -> Sputtering : ion등을 전계로 가속시켜 대상물질에 입사시키면, 대상물질에서 이온등의 입자가 방출되고 이것들을 기판에 증착 또는 코팅시킴.

구매평가

구매평가 기록이 없습니다

보상규정 및 환불정책
· 해피레포트는 다운로드 받은 파일에 문제가 있을 경우(손상된 파일/설명과 다른자료/중복자료 등) 1주일이내 환불요청 시
환불(재충전) 해드립니다. (단, 단순 변심 및 실수로 인한 환불은 되지 않습니다.)
· 파일이 열리지 않거나 브라우저 오류로 인해 다운이 되지 않으면 고객센터로 문의바랍니다.
· 다운로드 받은 파일은 참고자료로 이용하셔야 하며,자료의 활용에 대한 모든 책임은 다운로드 받은 회원님에게 있습니다.

저작권안내

[기계공학] 플라즈마에 대한 특성 및 적용분야