LPL의 8세대 장비발주를 앞두고 국내외 업체들이 핵심장비 수주를 놓고 자존심을 건 총력전에 돌입, 최종 결과가 초미의 관심사로 떠올랐다. 국내 장비업체들은 LPL의 8세대에서 외산의 벽을 뜷고 핵심장비 주 공급사로 도약한다는 야심이다. 주성엔지니어링, 에이디피엔지니어링, 아바코 등은 각각 △화학기상증착(CVD) △스퍼터 △드라이에처에서 LPL의 퍼스트 파트너가 되겠다는 목표다. 그러나 그동안 이들 핵심장비를 장악해온 AKT, 도쿄일렉트론, 알박 등 해외업체들의 반격이 예사로울 리는 없다. 전문가들은 LPL이 투자키로 한 월 8만3000장의 생산능력을 역산하면 CVD, 드라이에처, 스퍼터 등의 발주 물량은 각각 10대 안팎이어서 ‘퍼스트 파트너’가 되더라도 세컨드 파트너보다 수주량이 1∼2대 정도 더 많은 정도일 것으로 보고 있다. 하지만 8세대용 CVD의 경우 대당 가격이 150억∼170억원을 상회하는 데다 뒤따르게 될 대만 업계의 8세대 수주 경쟁에서 유리해지는 만큼 LPL의 퍼스트 파트너가 되는 것은 매우 중요하다. ◇쫓는 자와 쫒기는 자=가장 관심을 모으는 장비는 주성엔지니어링과 미국 AKT가 경합중인 CVD다. LPL 7세대에서는 AKT가 55%의 점유율로 신승을 거뒀지만, 꾸준히 점유율을 높여온 주성이 8세대에서는 역전할 가능성이 매우 높다는 게 업계 전망이다. 특히 주성은 AKT보다 8세대 CVD를 먼저 개발해 기술력에서도 전혀 밀리지 않는다는 평가다. 하지만 AKT는 LPL보다 먼저 8세대를 투자한 삼성전자에 8세대용 CVD를 공급해 양산 검증을 끝낸 상태여서 여전히 우위를 장담하고 있다. 국산화가 급물살을 타고 있는 드라이에처에서는 에이디피엔지니어링이 일본 도쿄일렉트론(TEL)의 아성을 위협하고 있다. LPL 5세대 라인부터 드라이에처를 공급해온 에이디피엔지니어링은 6세대와 7세대에서 공급량을 점진적으로 늘려 7세대의 경우 TEL과 격차를 6대 4까지 좁힌 상태다. 일본 알박이 독주해온 스퍼터에서는 아바코의 대약진이 기대된다. LPL 7세대에 처음으로 스퍼터를 공급한 아바코는 8세대에서는 알박과 양강체제를 구축하는 것이 목표다. ◇결과는 예측 불허=국내외 업체간 승부 전망은 팽팽하다. 핵심 전공정 장비는 국산화가 더뎌 외산이 주도해온 만큼 아무래도 해외업체들이 유리할 것이라는 예상과 가격경쟁력과 ‘5.5세대 변수’라는 호재를 보유하고 있는 국내 업계가 선전할 것이라는 분석이 엇갈린다. LPL의 7세대 장비중 핵심 장비의 국산화율은 30∼45% 수준으로 외산에 비해 열세다. 특히 해외 업체들은 대부분 삼성전자 8세대 라인에 장비를 납품한 실적까지 있다. 그러나 LPL은 5.5세대 투자 철회 이후 피해를 본 국내 장비업체들에게 8세대에서 보상키로 약속했다. 장비업계 한 사장은 “LPL이 이르면 이달 말부터 내달 초 제품 구매서(PO)를 발주할 계획이어서 누가 퍼스트 파트너가 될 지는 조만간 판가름 날 것”이라며 “LPL이 그동안 장비 국산화를 적극 추진해온 데다 국산 장비의 가격경쟁력이 외산보다 높아 국내 업체들의 선전이 예상된다”고 말했다. 장지영기자@전자신문, jyajang@
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