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4-point resistivity measurements


카테고리 : 레포트 > 기타
파일이름 :[저항측정법]4-prob-m.hwp
문서분량 : 5 page 등록인 : CPIA_jykim
문서뷰어 : 한글뷰어프로그램 등록/수정일 : 07.05.50 / 09.12.29
구매평가 : 다운로드수 : 1
판매가격 : 1,100

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보고서설명
저항측정법 4 probe 박막 증착방법 / ()
본문일부/목차
비저항값은 물질상수이므로 모든 재료에 따라 다르다. 이것은 같은 재료일 경우 같은 값을 갖는다는 것을 의미한다.
먼저 4-probe 측정법으로 구한 자료를 보면 동일한 재료일 경우 그 값이 대략 0.3으로 일정한 것을 볼 수 있다. (Data에서 두께차원의 값들의 유효숫자는 1~4 째 자리 사이이다. 따라서 유효숫자가 1 째 자리라고 하면 그 값은 0.3이 된다.)
그러나 유효자리를 두 자리이상으로 보면 결과값은 오차가 있다고 볼 수 있다. 이것은 같은 재료라 할지라도 얇은 박막을 만들 때의 증착방법상의 문제 또는 전체적으로 두께가 uniform하지 못했다거나 하는 이유 등에 의해 다르게 측정될 소지가 있다.
다른 재료에서의 경우 그 결과값은 약 0.3과 0.5로 서로 다른 값을 갖는다는 것을 알 수 있다.
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저항측정법 4 probe 박막 증착방법

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