Ⅰ.원료의 선택
Ⅱ.원료의 혼합
Ⅲ.성형(Forming)
Ⅳ.Sintering(소결)
Ⅴ.물성평가
ⅰ) 소결전에 먼저 상온에서 600℃까지 50℃/hour의 승온속도로 질소가스중에서 열처리하여 성형보조제를 연소시킴으로써 성형체내에 많은 기공을 형성시켜 소결시에 용융된 MoSi2와Si의 혼합분말이 쉽게 침투할 수 있도록 하였다.
ⅱ)열처리된 성형체위에 용융 침투시킬 혼합분말을 올려 놓고 이들을 boron nitride가 도포된 흑연 도가니에 넣어 감압장치(10-1torr)가 되어 있는 진공유도 가열로에서 1600, 1700, 1800℃의 세 가지 온도조건으로 혼합분말을 용융, 침투시켜 제조하였다. 혼합분말중 MoSi2와 Si의 혼합비율은 Fig.2의 Mo-Si2성분계 상평형도를 근거로 하여 각 반응온도에 해당하는 MoSi2와 Si의 혼합비율을 아래의 Table과 같이 정하였다.
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