해피레포트 - 반도체·디스플레이 前공정장비업계 `영역파괴 바람`

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반도체·디스플레이 前공정장비업계 `영역파괴 바람`

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‘전(前) 공정장비, 영역 파괴 가속화’ 14일 관련업계에 따르면 올해 주요 반도체 전 공정 장비업체는 LCD분야로, LCD 전 공정 장비 업체는 반도체분야로 속속 사업영역을 넓히면서, 기술장벽이 높은 전 공정장비시장에서 반도체·디스플레이 간 영역 파괴 바람이 불 전망이다. 특히 사업영역 확대에 나서는 업체들이 각자 분야에서 기반을 확고히 다진 상황이기 때문에, 반도체·LCD의 공정 연관성 등이 시너지로 작용하면서 매출 규모의 급속한 확대로 이어질 것으로 기대된다. 더욱이 이미 양상평가장비를 납품했거나, 주요 소자업체들과 공동개발협약(JDP)을 체결한 상태에서 개발이 진행되고 있어 미국·일본 등이 장악하고 있는 전 공정 장비의 국산화도 올해 한층 가속화될 전망이다. 반도체용 에처와 원자층증착장비(ALD) 전문업체인 아이피에스(대표 장호승)는 최근 삼성전자와 JDP를 체결하고 올 3·4분기 출하를 목표로 LCD용 드라이에처 개발을 진행하고 있다. 지난 1년여간 LCD 장비시장 진출을 적극 모색해 온 이 회사는 삼성전자 7세대 라인에 전공정 핵심장비인 드라이에처를 납품할 계획으로, 사실상 외산장비 일색인 드라이에처의 국산화에 한 몫을 할 것으로 기대된다. 반도체용 플라즈마 화학기상증착장비(PE CVD)로 전 공정 장비시장에서 위치를 다져온 아토(대표 문)도 LCD 영역으로 발을 넓힌다. 삼성전자와 하이닉스 등에 반도체용 PE CVD를 납품해 온 이 회사는 조만간 7세대 LCD용 PE CVD 장비 개발에도 착수, 이르면 내년 중에 삼성 탕정라인에 납품한다는 계획이다. LCD 검사장비로 시장에서 주목받고 있는 디이엔티(대표 박창현)도 올해 반도체용 노광(스테퍼)장비 시장에 본격 진출한다는 계획이다. 이 회사 박창현사장은 “LCD에 이어 반도체 장비시장에도 진출할 계획으로 현재 외국업체와 양해각서(MOU)를 체결하고 첨단 전공정장비인 스테퍼를 개발하고 있다”며 “니콘·캐논·ASML 등 해외장비업체들이 독점하고 있는 이 시장에 뛰어들어 국산화를 앞당길 것”이라고 말했다. LCD용 PE CVD를 최초로 국산화한 주성엔지니어링(대표 황철주)도 지난달 하이닉스반도체에 반도체용 식각장비(에처)를 양산용으로 납품하면서 에처시장 진출을 본격 선언했다. 황철주사장은 “차별화된 장비로 승부하는 것이 주성의 원칙”이라며 “올해부터 본격적으로 반도체용 에처시장 공략을 시작해 차별화된 신개념 에처를 앞세워 경쟁사의 벽을 넘어설 것”이라고 강조했다. 심규호기자@전자신문, khsim@

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