세라믹(Al2O3)의 미세구멍 가공특성에 대한 연구
A study on the microhole machining characteristics
of the Al2O3 ceramics
국민대학교 자동차공학전문대학원 백병만, 김병용, 이건상
Ⅰ. 서론
Al2O3 세라믹(알루미나, alumina)은 기존의 금속이나 polymer 재료 등과 비교하여 내열성, 절연성이 뛰어나고 물리적, 기계적 특성이 우수하여 전기의 절연재, 절삭공구, 연마재 등에 사용할 뿐만 아니라 최근에는 전자산업의 발달로 고도의 기능을 가진 새로운 재료로 각광을 받고 있다. 또한 전자산업에서는 수대의 초정밀 미세구멍을 요구하고 있어 재료의 개발과 함께 보다 낳은 미세구멍 가공기술 개발의 필요성이 증가하고 있다. 그러나 Al2O3 세라믹 가공은 높은 경도, 내마모성 등과 같은 기계적 특성으로 인하여, 절삭과 드릴링과 같은 전통적인 가공 방법으로는 작업시간이 오래 걸리며, 가공 정밀도가 떨어지고 공구가 파손되는 등 한계성을 가지고 있다. 따라서 현재는 방전가공, 초음파가공, 레이저가공 등의 특수가공법으로 세라믹 미세구멍 가공을 시도하고 있다1).
그러나 이러한 특수가공법도 다음과 같은 문제점을 가지고 있다. 방전가공의 경우는 스테인리스강(stainless steel)과 같은 전도성 물질에 대해서는 최적의 미세구멍 가공법이나 비전도성 취성 재료에는 접합하지 않고, 초음파가공은 세라믹과 같은 비전도성 취성재료의 미세구멍 가공에는 효과적이나 방전가공과 초음파가공 모두 가공에 앞서 가공형상의 공구를 먼저 제작해야 하는 문제점을 가지고 있다2).
따라서 본 논문에서는 Nd YAG 레이저를 이용하여 각각 첨두출력(peak power, EP), 펄스 폭(pulse duration, P), 펄스 횟수(pulse count, CP), 펄스 주파수(pulse frequency, FP)등의 레이저 가공변수들이 구멍 형상과 크기, 구멍직경비(hole diameter ratio, R), 주변부의...
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