해피레포트 - 실험 - Vacuum deposition의 이해와 증착속도에 따른 압력 변화측정[예비]

카테고리 : 레포트 > 자연과학계열 파일이름 :실험 - Vacuum depositi.hwp 문서분량 : 4 page 등록인 : leewk2547 문서뷰어 : 한글뷰어프로그램 등록/수정일 : 13.12.31 / 13.12.31 구매평가 : 다운로드수 : 0 판매가격 : 2,000 원

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보고서설명
실험 - Vacuum deposition의 이해와 증착속도에 따른 압력 변화측정[예비] 1. 실험 목적 진공 상에서의 물질의 증착을 이해하고, 압력에 따라 변화하는 챔버 안의 증발 분자량을 계산한다.

본문일부/목차
실험 과정 시료 및 장치 준비 과정(모든 세척과정에서는 반드시 일회용 비닐 장갑을 낀다.) 1) 기판 준비 ① ultrasonic에 기판을 10분간 돌리고 20분간 150℃로 Dry Oven에 말린다. ② heating boat를 2개 준비하여 각각의 질량을 측정한다. ③ 각각의 heating boat에 ALQ3를 담고 질량을 측정한 뒤 chamber내에 고정시킨다. ④ 기판에 증착 유리판을 고정 시킨 후 기판을 고정 하고 chamber를 밀폐 한다. 2) 증착 과정 ① 쿨러을 켠다. ② R.P.Leak 밸브 및 3way 벨브, Air Leak, Main 밸브가 잠겼는지 확인한다. ③ 메인 스위치를 켜고 로터리 펌프를 켠다. ④ Pirani gauge를 확인한 후 10-2Pa까지 압력이 떨어지면 Rough way 쪽으로 밸브 를 연다. ⑤ Chamber내의 압력이 충분히 떨어진 후 Fore way쪽으로 밸브를 연다. ⑥ 오일확산펌프의 압력이 10-2Pa까지 떨어지면 Rough way쪽으로 한번 더 돌려서 메인 밸브 아래와 위의 압력을 맞춘 다음 다시 Fore way로 밸브를 돌리고 오일 확산 펌프를 켠다. ⑦ 오일 확산 펌프가 충분히 작동한다고 생각되면 Main 밸브를 열고 챔버 내의 압 력을 4X10-3Pa까지 떨어뜨린다. ⑧ 열판에 열을 가하여 증착을 시작한다. ⑨ 1번 heating boat의 증착 속도가 0.5A/S이 되도록 전류를 조절한 뒤 0.5A/S가 된 이후로 1분 뒤의 압력을 측정한다.

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