해피레포트 - 플라즈마에 대해서

카테고리 : 레포트 > 자연과학계열 파일이름 :플라즈마에 대해서.hwp 문서분량 : 6 page 등록인 : leewk2547 문서뷰어 : 한글뷰어프로그램 등록/수정일 : 12.04.15 / 12.04.16 구매평가 : 다운로드수 : 1 판매가격 : 1,500 원

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보고서설명
플라즈마란 ▷ 이온화한 기체 ▷ 물질의 제 4 상태 ▷ 번개, 아크, 네온사인, 태양, 오로라... 등 ▷ Electrons, Electrically charged ions, Neutral Molecules..

본문일부/목차
1. 플라즈마란? ▷ 이온화한 기체 ▷ 물질의 제 4 상태 ▷ 번개, 아크, 네온사인, 태양, 오로라... 등 ▷ Electrons, Electrically charged ions, Neutral Molecules.. ※참고 cold palsma = low temperature plasma = non equilibrium plasma = glow discharge - 기체 입자, 즉 기체분자나 원자에 에너지가 가해지면(일반적으로 가속된 전자의 충돌에 의한 에너지 전달. 그 외에도 열적, micro-wave에 의해서도 가능하다.) 최외각 전자가 궤도를 이탈함으로써 자유전자가 되어 양전하를 띄게 되며 분자 혹은 원자와 음전하를 갖는 전자가 생성된다. 이러한 양전하의 이온과 전자들이 다수가 모여 전체적으로 전기적인 중성을 갖으며 이렇게 구성된 입자들의 상호작용에 의해서 독특한 빛을 방출하며 입자들의 활발한 운동 때문에 높은 반응성을 갖게되는데 이러한 상태를 흔히 이온화한 기체 또는 플라즈마라고 부른다. 전자를 어떻게 가속시키느냐, 또는 플라즈마가 형성되는 상황의 전자밀도나 그 때의 온도에 의해서 다양한 플라즈마가 형성되는데, 다음 그림은 밀도(전자밀도)와 온도에 따른 플라즈마 상태를 분류한 그림이다. .......................<<생략>> 4. 플라즈마의 application - 플라즈마는 수만도 정도의 온도와 109 ~ 1010 /㎤의 밀도를 갖는 저온 글로우 방전 플라즈마와 수천만도 이상의 온도와 1013 ~ 1014 /㎤ 의 밀도를 갖는 초고온 핵융합 플라즈마로 크게 구별할 수 있다. 이중 공업적으로 이용이 활발한 플라즈마는 저온 글로우 방전 플라즈마로서 반도체 공정에서 플라즈마 식각(plasma etch) 및 증착 (PECVD : Plasma Enhanceed Chemical Vapor Deposition), 금속이나 고분자의 표면 처리, 신물질의 합성 등에서 이용되고 있으며, 공정의 미세화, 저온화의 필요성 때문에 플라즈마 공정이 종래의 공정을 대체하고 있으며, 경우에 따라서는 플라즈마만이 제공할 수 있는 물질이나 환경을 이용하기 위한 응용분야가 점점 더 확대되고 있다.

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