해피레포트 - 전기공학 실험 - 면저항 실험(4-point probe를 이용하여 박막의 면저항을 측정)

카테고리 : 레포트 > 공학,기술계열 파일이름 :전기공학 실험 - 면저항 실험(4-p.hwp 문서분량 : 5 page 등록인 : leewk2547 문서뷰어 : 한글뷰어프로그램 등록/수정일 : 14.06.06 / 14.06.06 구매평가 : 다운로드수 : 2 판매가격 : 2,000 원

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보고서설명
1.실험목적 면저항(Sheet Resistance)의 개념을 이해하고 4-point probe를 이용하여 박막의 면저항을 측정하고 측정값과 이론값을 비교한다. 2.문제 ⓵면저항의 정의

본문일부/목차
point probe 에 전압을 흘리면 오차가 생기는 이유를 보자. 그림 ⓵을 보면 전류를 흘리고 전류계로 전류를 측정하는 방식이다. 이때 전류 I를 측정하려면 전체 저항은 R이어야하나 실제로 전류계에 내부저항이 존재한다. 전류계의 내부저항 r이 이어야 정확히 측정이 된다. 결국 전류는 하지만 그림 ⓶의 경우처럼 전류를 흘려보자. 여기에도 역시 전압계의 내부저항이 존재한다. 만일 전압계의 내부저항 일 경우 전류는 전압계를 지나지 않아 로 정확히 측정이 가능하다. 또, 4 point probe에서 전압을 안쪽에서 측정하는 이유는 4 point를 시편에 접촉시켰을 때 접촉저항이 발생한다. 전압계는 저항의 영향이 큰데 이 접촉저항이 클 경우에는 전압계로 측정값이 오차가 많이 발생하게 된다. 이 접촉저항을 최소화하기 위해서 4포인트 안쪽 2개에 전압계를 연결해 측정하게 된다. ⓸보정표(correction factor)를 사용하는 이유 probe의 거리s와 박막의 넓이의 비에 대한 보정값 형태로 영향을 미친다. 박막은 circle,square,rectangle이 있을 수 있다. 그러나 실제로는 그렇지 못하니 보정계수를 통해 값을 보정해준다. , () : 탐침 간격에 대한 시료의 크기 보정계수, :　탐침 간격에 대한 시료의 두께 보정계수, : 탐침 간격에 대한 보정계수, : 온도 보정계수 이다. 일반적으로 의 보정계수는 4 point probe의 성적서에 탐침 간격에 대한 오차가 없는 경우 1.0으로 취급한다.

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