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카테고리 : 레포트 > 공학,기술계열 파일이름 :EDS(study ).pdf 문서분량 : 35 page 등록인 : kkangdagu16 문서뷰어 : 
아크로뱃리더프로그램등록/수정일 : 10.05.15 / 10.09.21 구매평가 : 
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- 보고서설명
- 전자 현미경 EDS에 대해서 자세히 나와있음
반도체 분야 분이신분들 필독입니다.
- 본문일부/목차
- * EDS (Energy Dispersive Spectrometry)
- Energy의 함수로 특성 X-선을 검출
- X-선의 검출에 주로 Si(Li) 또는 Ge 반도체소자를 사용
- 특성 X-선의 검출에 가장 널리 이용
1). Detector : reverse-biased p-i-n diode
Si(Li) detector
intrinsic Ge (IG) detector
• pulse를 voltage 신호로 변환
• 증폭과정을 거쳐 analog-to-digital converter가 신호를 인식
• 특정 channel에 신호를 배정
2). Pulse-processing electronics
• 배정된 channel에 신호를 누적 막대 형태로 화면에 표시
->spectrum
- 연관검색어
- EDS 전자
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