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[진공펌프] 화학 실험 리포트 / 진 공 펌 프 1. 진공도에 따른 진공 영역의


카테고리 : 레포트 > 공학,기술계열
파일이름 :[진공펌프] 화학실험 리포트.hwp
문서분량 : 6 page 등록인 : lspeirs
문서뷰어 : 한글뷰어프로그램 등록/수정일 : 09.05.18 / 09.05.18
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진 공 펌 프 ƒ. 진공도에 따른 진공 영역의 구분 및 사용영역 진공영역은 진공도에 따라 아래의 표와 같이 몇 가지로 구분되어 불리어지고 있다. 진공영역을 이 같이 구분하는 이유는 각 진공 영역에 따라 적용되는 공정이 달라지고, 펌프의 기종 또한 다르게 되기 때문이다. 진공 영역별로 구분되는 공정 및 펌프의 기종은 아래의 표와 같다 진공 영역진공도 범위적용되는 공정진공펌프의 기종저진공 Rough Vacuum대기압-1Torr진공 흡착이송 ,인쇄기자동급지 ,진공 농축반응기, 분말충진 , 진공성형, 진공포장건식 로타리 베인 펌프, 급유식 로타리 베인 펌프, 수봉식 펌프, 스팀 이젝타, 냉매 가스주입용중진공 Fine Vacuum1Torr-10-3 Torr진공건조, 탈기장치, 진공함침 진공증류 ,진공소결다단식 로타리 베인 펌프, 다단식 스팀 이젝타 ,루츠펌프 피스톤 펌프, 확산 펌프고진공 High Vacuum10-3Torr-10-7 Torr진공코팅, 진공 동결 건조, 진공 합금 ,신소재합금확산펌프, 터보 분자 펌프, 흡착펌프, 저온 냉각 펌프, 승화펌프초고진공 Ultrahigh Vacuum 10-7Torr 이하원자핵 연구장치 ,전자 현미경 Plasma발생기, 물리 실험 장치터보 분자 펌프, 저온 냉각펌프, 흡착 펌프 „. 진공펌프의 종류 각기 다른 진공 영역에 따라 진공을 발생시키는 진공펌프의 종류가 다르게 된다는 것은 위에서 나타난 바와 같다. 진공펌프의 종류를 좀더 상세히 도식적으로 구분해 보면 다음과 같다. - 건식 로타리 베인 펌프 (DRY-RUNNING ROTARY VANE PUMP) - 만유식 로타리 베인 펌프 (OIL FLOODED ROTARY VANE PUMP) - 순환 급유식 로타리베인 펌프 (OIL CIRCULATED INJECRED ROTARY VANE PUMP) - 배출 급유식 로타리 베인 펌프 (ONCE -THROUGH OIL INJECTED ROTARY VANE PUMP) - 로타리 피스톤 펌프 (...
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