Bi 층상구조 화합물의 일종인 Bi4Ti3O12의 박막을 제조하기 위해 2가지 전구체를 선택하였으며 열 분해와 강유전성 2가지를 비교하였습니다.
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Bi4Ti3O12의 강유전체 박막을 솔젤 방식으로 제조를 하였고 전구체에 대한 강유전체 특성을 비교하였다. 2가지 종류의 Bi4Ti3O12 솔젤 전구체는 아세트산 분위기에 bismuth acetate와 bismuth nitrate를 녹여 titanium acetate를 섞어 제조를 하였다. 박막은 Pt가 코팅된 Si 기판위에 스핀 코팅 방식을 통하여 도포를 하였고 이중 열처리 방식을 통하여 결정을 생성하였다. Bi-acetate로 생성된 박막은 Ps가 34.8uC/cm2, Pr이 16.2uC/cm2, Ec가 128 kV/cmdl 나왔으며 Bi-nitrate계열은 Ps,Pr,Ec가 각각 14.2uC/cm2, 5.7uC/cm2 , 105 kV/cm나왔다. 이러한 사실로 미루어 보았을 때 Bi-acetate가 Bi-nitrate 보다 우수한 강유전성 및 저항을 가지고 있음을 알 수 있다.
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