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[자연과학계열] 등록일: 2015/02/15 | 등록자: leewk2547 | 판매가격: 2,000 원

및 대형화 추세에 따라 그 이용가치는 더욱 증대되고 있다. 본 연구에서는 TFT-LCD용 color filter제조시 ITO 박막 형성을 위해 사용하는 magnetron sputter내부의 플라즈마 분포 및 ion kinetic energy에 대한 해석...

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