LCD 스퍼터링[sputtering]에 관하여 [새창]
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[공학,기술계열] 등록일: 2012/08/10 | 등록자: leewk2547 | 판매가격: 1,600 원 |
스퍼터링(sputtering) 현상은 1852년 Grove에 의하여 처음 발견되었으며[3], 현재는 여러 가지 박막의 형성에 광범위하게 사용되어지고 있다. 스퍼터링(sputtering)은 높은에너지(> 30 eV)를 가진 입자들이 target에... |
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