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    • 자연과학계열
    • 2015/02/15 leewk2547 8 페이지 2,000원 다운 0회 구매평가 
    • color filter제조시 ITO 박막 형성을 위해 사용하는 magnetron sputter내부의 플라즈마 분포 및 ion kinetic energy에 대한 해석을 실시 하였으며, ITO target의 erosion형상의 원인을 실험결과와 비교하였다.
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