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    • 공학,기술계열
    • 2013/03/13 leewk2547 5 페이지 2,000원 다운 3회 구매평가 
    • 1. 포토리소그래피(Photolithography) ⅰ) 포토리소그래피(Photolithography)란? ⅱ) 포토리소그래피(Photolithography) 공정 과정 b) Type of Photoresist(PR) c) Soft Bake d) Hard Bake e)...
    • 공학,기술계열
    • 2015/03/16 leewk2547 3 페이지 2,000원 다운 3회 구매평가 
    • MOS CAP을 제작하는 전체의 공정에서 ‘Wafer cleaning & Oxidation’ 공정을 실시한 후 Si기판 위에 패턴을 형성하는 공정인 ‘Photo lithography’를 실시하며 FE-SEM을 이용하여 PR inspection을 측정한다. 이번...
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