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실험
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[공학,기술계열]
등록일: 2013/03/13 | 등록자:
leewk2547
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1.
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(Photolithography) ⅰ)
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(Photolithography)란? ⅱ)
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(Photolithography) 공정 과정 b) Type of Photoresist(PR) c) Soft Bake d) Hard Bake e)...
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반도체공정
실험
- Photo Lithography
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[공학,기술계열]
등록일: 2015/03/16 | 등록자:
leewk2547
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2,000 원
이번
실험
에서 PR두께는 1~2micro meter로, Developing time은 90sec로 고정하며 Exposure time을 2, 5 10sec로 변화를 주어 노광 시간을 조정함에 따라 PR공정 결과에 어떤 영향을 주는지 확인하고자 한다.
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<세계 나노기술 현장을 찾아서>(17)케임브릿지 캐번디시 연구소.
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등록일: 2002/04/29 | 등록자:
etnews
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<세계 나노기술 현장을 찾아서>(17)케임브릿지 캐번디시 연구소.
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