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    • 공학,기술계열
    • 2013/03/13 leewk2547 5 페이지 2,000원 다운 3회 구매평가 
    • 1. 포토리소그래피(Photolithography) ⅰ) 포토리소그래피(Photolithography)란? ⅱ) 포토리소그래피(Photolithography) 공정 과정 b) Type of Photoresist(PR) c) Soft Bake d) Hard Bake e)...
    • 공학,기술계열
    • 2015/03/16 leewk2547 3 페이지 2,000원 다운 3회 구매평가 
    • 이번 실험에서 PR두께는 1~2micro meter로, Developing time은 90sec로 고정하며 Exposure time을 2, 5 10sec로 변화를 주어 노광 시간을 조정함에 따라 PR공정 결과에 어떤 영향을 주는지 확인하고자 한다.
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