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    • 공학,기술계열
    • 2013/12/11 leewk2547 7 페이지 2,000원 다운 2회 구매평가 
    • 라디칼화되어 반응성이 크게 높아져 기판 위에 흡착되어 퇴적하는데, 온도를 높여서 퇴적시키는 것을 열 CVD, 화학반응이나 열분해를 촉진시키기 위해 빛을 소사하는 것을 빛 CVD, 가스를 플라스마상태로 여기시키는...
 
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