 [공학] Epitaxy(LPE,VPE,MBE) [새창]
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| [공학,기술계열] 등록일: 2008/04/10 | 등록자: donjuan7 | 판매가격: 1,000 원 |
| Epitaxy 공정법중 LPE(Liquid Phase Epitaxy)와 VPE(Vapor Phase Epitaxy), MBE(Moleculer Beam Epitaxy)의 원리와 장단에 대해서 설명하였다. 1. LPE 공정원리 2. LPE 장단점 3. VPE 공정원리 4. VPE 장단점 5. BME... |
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