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산화공정 실험보고서
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[자연과학계열]
등록일: 2012/06/21 | 등록자:
leewk2547
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1,400 원
실리콘 IC 웨이퍼 제조의 기초는 웨이퍼 표면에 산화층을 열적으로 성장시키는 능력이다. 실리콘 기판 속으로 불순물을 확산시켜서 산화층을 열적으로 성장시키고 식각시키고 패턴화되는 산화막 마스킹 공정이...
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결정질 실리콘 태양전지 제조공정
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[자연과학계열]
등록일: 2012/04/13 | 등록자:
leewk2547
| 판매가격:
1,000 원
POCl3나 인산을 이용하여 p형으로
도핑
되어 있는 실리콘 웨이퍼에 n형 layer를 형성 시켜서 pn접합을 만든다.
도핑
후에 표면의 패시베이션 및 반사도 감소를 위해서 반사방지막을 코팅한다. 보통 질화막이나 산화막...
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결정질 실리콘 태양전지 제조공정 [새창]
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