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[공학,기술계열] 등록일: 2012/05/17 | 등록자: leewk2547 | 판매가격: 1,200 원

제목 : 산화 공정 (Oxidation) 목적 : 반도체 소자 제조 공정 중 하나로 고온에서 산소나 수증기를 주입시키고 열을 가해실리콘 웨이퍼 표면에 얇고 균일한 실리콘 산화막을 형성 시키는 공정이다. 실리콘산화막은...

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